RIV/68378271:_____/05:00041223 - Study of thin TiCxN1-x films fabricated by hybrid magnetron-laser deposition (2005)
| Údaje o výsledku | |
| Identifikační kód | RIV/68378271:_____/05:00041223 |
| Název v původním jazyce | Study of thin TiCxN1-x films fabricated by hybrid magnetron-laser deposition |
| Název česky | Studie tenkých TiCxN1-x vrstev vyrobených hybridní magnetron-laserovou depozicí |
| Druh | D - Článek ve sborníku |
| Jazyk | eng - angličtina |
| Obor | BH - Optika, masery a lasery |
| Rok uplatnění | 2005 |
| Kód důvěrnosti údajů | S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů |
| Počet výskytů výsledku | 1 |
| Tvůrci výsledku | |
| Počet tvůrců celkem | 4 |
| Počet domácích tvůrců | 3 |
| Tvůrce | Kocourek Tomáš (státní příslušnost: CZ - Česká republika; A - domácí tvůrce; G - garant výsledku) |
| Tvůrce | Jelínek Miroslav (státní příslušnost: CZ - Česká republika; A - domácí tvůrce) |
| Tvůrce | Studnička Václav (státní příslušnost: CZ - Česká republika; A - domácí tvůrce) |
| Tvůrce | Kadlec J. (státní příslušnost: CZ - Česká republika) |
| Údaje blíže specifikující výsledek | |
| Popis v původním jazyce | Titanium-carbonitride thin films were grown at room temperature using a hybrid deposition arrangement combining DC magnetron sputtering and KrF pulsed laser deposition (MSPLD). Carbon and titanium were simultaneously deposited an the same Si substrate dimensions of 3 x 3 cm. Films were fabricated in argon-nitrogen atmosphere of 1 Pa - 5 Pa, for laser fluence of Jcm-2 and magnetron power of 150 W. Film properties were modified by RF discharge held between the target and substrate. Film crystallinity was studied by XRD and the composition depth profile of TiCN layers by glow discharge optical emission spectroscopy (GDOES). |
| Popis česky | Titan-karbonitridové tenké vrstvy byly deponovány při pokojové teplotě hybridní depozicí kombinující DC magnetron a KrF laserovou depozici. Bylo deponováno v dusíkové atmosféře 1 Pa - 5 Pa, hustota laserové energie 15 Jcm-2 a výkon magnetronu 150 W. Bylo studováno složení vrstvy a XRD. |
| Klíčová slova | laser deposition; magnetron; radiofrequency discharge; TiCN; thin films |
| Název sborníku | Proceeding of SPIE - Int. Connference on Lasers, Applications, and Technologies 2005. Laser-Assisted Micro- and Nanotechnologies |
| Rozsah stran | 61800G/1;61800G/5 |
| ISBN | 0-8194-6213-6 |
| Počet stran výsledku | 5 |
| Název nakladatele | SPIE |
| Místo vydání | Bellingham |
| Místo konání akce | Prague |
| Datum zahájení akce | 8.6.2005 |
| Typ akce podle státní příslušnoti účastníků | WRD - Světová |
| Údaje o tomto záznamu o výsledku | |
| Předkladatel | Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. |
| Dodavatel | AV0 - Akademie věd České republiky (AV ČR) |
| Rok sběru | 2007 |
| Systémové označení dodávky dat | RIV07-AV0-68378271/04:4 |
| Datum dodání | 20.8.2009 |
| Specifikace | RIV/68378271:_____/05:00041223!RIV07-AV0-68378271 |
| Kontrolní kód | [1532EEC4AB55] |
| Jiný výskyt tohoto výsledku se v RIV nenachází | |
| Odkazy na výzkumné aktivity, při jejichž řešení výsledek vznikl | |
| Projekt | IAA1010110 - Nové laserové hybridní technologie pro depozici tenkých vrstev (2001-2005, AV0/IA) |
| Výzkumný záměr | AV0Z10100522 - Vlnové a částicové šíření světla, optické materiály a technologie (2005-2011, AV0) |
Tuto aplikaci pro Radu pro výzkum, vývoj a inovace provozuje Výpočetní a informační centrum Českého vysokého učení technického v Praze. Vyvíjí InfoScience Praha s.r.o.. Verze aplikace 1.6.15. Datové schéma ISVAV_WEB5_00302.
Podpora uživatelů na e-mailové adrese 
nebo telefonním čísle 224 234 797 (v pracovních dnech 8-16 hod.).
nebo telefonním čísle 224 234 797 (v pracovních dnech 8-16 hod.).