• česky
  • english
Přejít na obsah | Přejít na menu

Informační systém výzkumu, experimentálního vývoje a inovací
výzkum, vývoj a inovace podporované z veřejných prostředků ČR

    • Poskytovatelé podpory ve výzkumu, vývoji a inovacích (RPO)
    • Programy výzkumu, vývoje a inovací (RPG)
    • Subjekty ve výzkumu, vývoji a inovacích (RPR)
  • Veřejné soutěže ve výzkumu, vývoji a inovacích (VES)
  • Projekty výzkumu, vývoje a inovací (CEP)
  • Výzkumné záměry (CEZ)
  • Výsledky výzkumu, vývoje a inovací (RIV)

IAA1010110 - Nové laserové hybridní technologie pro depozici tenkých vrstev (2001-2005, AV0/IA)

Údaje o projektu
Identifikační kódIAA1010110
Důvěrnost údajůS - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
Název v původním jazyceNové laserové hybridní technologie pro depozici tenkých vrstev
PoskytovatelAV0 - Akademie věd České republiky (AV ČR)
ProgramIA - Granty výrazně badatelského charakteru zaměřené na oblast výzkumu rozvíjeného v současné době zejména v AV ČR (1991-2013)
Kategorie VaVZV - Základní výzkum
Hlavní oborBL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
Vedlejší oborBM - Fyzika pevných látek a magnetismus
Další vedlejší oborJK - Koroze a povrchové úpravy materiálu
Zahájení řešení01/2001
Ukončení řešení12/2005
Zahájení poskytování účelové podpory02/2001
Ukončení poskytování účelové podpory02/2005
Poslední stav řešeníU - Ukončený projekt, tj. jednoletý nebo víceletý projekt, který skončil v předcházejícím roce, v příslušném roce sběru dat jsou dodány údaje vztahující se k jeho ukončení
Finance projektu
Období20012002200320042005celkem
Výše podpory ze státního rozpočtu834 tis. Kč713 tis. Kč737 tis. Kč751 tis. Kč701 tis. Kč3 736 tis. Kč
Celkové uznané náklady3 225 tis. Kč3 100 tis. Kč3 509 tis. Kč751 tis. Kč701 tis. Kč11 286 tis. Kč
Typskutečně čerpanéskutečně čerpanéskutečně čerpanéskutečně čerpanéskutečně čerpané
Druh soutěžeVS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
Veřejná soutěž ve výzkumu, vývoji a inovacíchSAV0-AB2001 - Veřejná soutěž (AV0/IA)
Cíle řešení v původním jazyceVývoj nových a modifikovaných depozičních technik, studium jejich možností a charakterizace plazmy jsou velmi důležité pro tvorbu nových typů tenkých vrstev a multivrstev, složitých a dopovaných vrstev, gradovaných pokrytí a vrstev s proměnným materiálovým profilem, vlnovodových vrstev, nanostruktur, atd. Tyto úkoly vyžadují zdokonalení současné depoziční techniky a vývoj nových hybridních depozičních systémů. Naše pozornost bude soustředěna na vývoj systémů kombinujících pulsní laserovou depozici s RF výboje, výbojem v duté katodě a s magnetronovým naprašováním. Zlepšené krystalizace a zhutnění vrstev bude dosaženo pomocí RF polarizace a laserové modifikace povrchu podložky. Procesy ve výbojovém plazmatu budou studovány pomocí diodové laserové spektroskopie, OES, Langmuirovských sond a CCD kamery. Vrstvy budou charakterizovány pomocí WDX, XRD, XPS, STM, SEM, Ramanovské spektroskopie a spektroskopické elipsometrie. Měřeny budou také mikrotvrdost a adheze vrstev.
Klíčová slova v anglickém jazycePulsed laser deposition; thin films; laser plasma; hybrid deposition techniques; radiofrequency discharge; hollow cathode discharge; optical emission spectroscopy; magnetron sputtering; plasma processes
Hodnocení výsledkůV - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
Zhodnocení výsledků řešení českyVyvinut a realizován hybridní laserový depoziční systém kombinující současně laserovou ablaci, magnetronové naprašování a radiofrekvenční výboje. Byly deponovány a studovány tenké vrstvy nových typů materiálů za atypických technologických podmínek.
Rok dodání údajů do CEP2006
Systémové označení dodávky datCEP06-AV0-IA-U/04:2
Datum dodání záznamu26.9.2007
Účastníci projektu
Počet příjemců2
Počet dalších účastníků projektu0
Koordinující příjemceFyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
ŘešitelIng. Miroslav Jelínek, DrSc. (státní příslušnost: CZ - Česká republika; tel.: 266053111; fax: 286890527)
PříjemceÚstav fyzikální chemie J. Heyrovského AV ČR, v.v.i.
ŘešitelIng. Zdeněk Zelinger, CSc. (státní příslušnost: CZ - Česká republika; tel.: 286583014, 266052011; fax: 286582307)
Poznámka: Finance účastníků projektu jsou sledovány od roku 2007
Výsledky projektu v RIV
Počet výsledků v RIV45
Výsledek druhu JRIV/61389013:_____/07:00085617 - Matrix assisted pulsed laser evaporation of pullulan tailor-made biomaterial thin films for controlled drug delivery systems (2007)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/07:00086552 - Study of laser created ZRO2 and hydroxyapatite/ZRO2 films for implantology (2007)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/07:00085561 - Thin films growth parameters in MAPLE; application to fibrinogen (2007)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/06:00039893 - Chemical bonding study of nanocrystalline diamond films prepared by plasma techniques (2006)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/06:00039889 - Influence of the substrate temperature on the properties of nanocrystalline diamond/amorphous carbon composite films (2006)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/06:00039940 - KrF laser deposition combined with magnetron sputtering to grow titanium-carbide layers (2006)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/06:00039942 - Laser deposition of waveguiding films (2006)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/06:00039717 - Laser-deposited thin films for butane detection (2006)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/06:00309722 - Structural and fluorescence properties of thin films fabricated by pulsed laser deposition technique from Nd:KGW single crystal (2006)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/06:00042156 - Study of the plasmas produced during the deposition of TiC/SiC thin films in a hybrid magnetron-laser system (2006)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/05:00021338 - Hybrid laser based thin-film deposition for nanocrystalline titanium carbide layers (2005)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/05:00041199 - Hydroxyapatite and ZrO2 biocompatible coatings fabricated by pulsed laser deposition (2005)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/05:00025674 - Influence of the gas phase composition on nanocrystalline diamond films prepared by MWCVD (2005)
Výsledek druhu JRIV/61388955:_____/05:00022941 - Millimeter wave spectrum of bromomethyl radical, CH2Br (2005)
Výsledek druhu JRIV/67985882:_____/05:00023060 - Periodic oscilations of thin film properties with their thickness for mixed real Bi2(M+N)Te3 phases (2005)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/05:00025239 - Plasma study and deposition of DLC/TiC/Ti multilayer structures using technique combining pulsed laser deposition and magnetron sputtering (2005)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/05:00041223 - Study of thin TiCxN1-x films fabricated by hybrid magnetron-laser deposition (2005)
Výsledek druhu JRIV/61388955:_____/05:00000565 - The Submillimeter-wave Spectrum of the Chloromethyl Radical, CH2Cl, in the Ground Vibronic State (2005)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/05:00025160 - Subpicosecond and enhanced nanosecond PLD to grow ZnO films in nitrogen ambient (2005)
Výsledek druhu JRIV/61388955:_____/04:00101087 - First Observation of the Rotational Spectrum of the Bromomethyl Radical, CH2Br (2004)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/04:00100725 - Laser deposited thin organic and inorganic active layers for low temperature ozone sensors (2004)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/04:00102484 - Nanocrystalline diamond films preparation by hybrid pulsed laser deposition (2004)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/04:00313329 - Plasma study during pulsed laser deposition of nanocrystalline diamond/amorphous carbon composite thin films and their structural characterization (2004)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/04:00100094 - Properties of Er-doped layers grown from Er:YAG(YAP) crystalline targets by sub-picosecond laser deposition (2004)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/04:00100497 - Study of nanocrystalline diamond film growth in rf hybrid laser deposition systems in O2, H2 and H2+Ar ambients (2004)
Výsledek druhu DRIV/67985882:_____/03:13030140 - Annealing of Bi 2 Te 3 thin films prepared by pulsed laser deposition. (2003)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/03:02030284 - Gradient titanium-carbon layers grown by pulsed laser deposition combined with magnetron sputtering. (2003)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/03:00100731 - Influence of RF discharges on nanocrystalline diamond films growth by pulsed laser deposition (2003)
Výsledek druhu JRIV/61388955:_____/03:54030237 - Laser Plasma Plume Kinetic Spectroscopy of the Nitrogen and Carbon Species. (2003)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/03:00100730 - Nanocrystalline diamond/amorphous carbon composite films prepared by MWCVD (2003)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/03:00100316 - Optical and electro-optical properties of pulse laser deposited PLZT thin films (2003)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/03:02030278 - Optical properties of Er:YAG and Er:YAP materials and layers grown by laser. (2003)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/03:02030273 - Phase ac-sensitivity of oxidic and acetylacetonic gas sensors. (2003)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/03:02030169 - Progress in optical waveguiding thin films. (2003)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/03:02030274 - Pulsed laser deposition of inorganic and organic thin films for active layers of ozone sensors. (2003)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/03:02030248 - Study of plasma processes during pulsed laser ablation of graphite target in nitrogen. (2003)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/03:00102498 - Vlnovodné ZnO a BaTiO3 tenlé vrstvy vytvořené laserovou depozicí (2003)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/02:00104233 - Luminescence properties of Er:YAG and Er:YAP thin films created by pulsed laser deposition (2002)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/02:02020203 - Optical emission spectroscopy of nitrogen species and plasma plume induced by laser ablation combined with pulse modulated radio-frequency discharge. (2002)
Výsledek druhu JRIV/61388955:_____/02:54020261 - Optical Emission Spectroscopy of Plasma in Hybrid Pulsed Laser Deposition System. (2002)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/02:00104232 - Pulsed laser deposition of homogenous DLC films (2002)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/02:00104234 - Study of plasma in hybrid PLD system for CNx films creation (2002)
Výsledek druhu JRIV/61388955:_____/01:54010234 - Optical Emission Spectroscopy of CN x Plasma Species in Hybrid Pulsed Laser Deposition System. (2001)
Výsledek druhu DRIV/68378271:_____/01:02010321 - Study of RF discharge properties for hybrid pulsed laser deposition. (2001)
Výsledek druhu JRIV/68378271:_____/01:02030216 - Waveguiding Nd:KGW films prepared by pulsed laser deposition. (2001)
Tuto aplikaci pro Radu pro výzkum, vývoj a inovace provozuje Výpočetní a informační centrum Českého vysokého učení technického v Praze. Vyvíjí InfoScience Praha s.r.o.. Verze aplikace 1.6.15. Datové schéma ISVAV_WEB5_00305. Podpora uživatelů na e-mailové adrese podpora (zavináč) isvav (tečka) cz nebo telefonním čísle 224 234 797 (v pracovních dnech 8-16 hod.).