• česky
  • english

IA210133 - Příprava a charakterizace tenkých vrstev s předem definovaným nehomogenním profilem indexu lomu (1993-1994, AV0/IA)

Údaje o projektu
Identifikační kódIA210133
Důvěrnost údajůS - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
Název v původním jazycePříprava a charakterizace tenkých vrstev s předem definovaným nehomogenním profilem indexu lomu
PoskytovatelAV0 - Akademie věd České republiky (AV ČR)
ProgramIA - Granty výrazně badatelského charakteru zaměřené na oblast výzkumu rozvíjeného v současné době zejména v AV ČR (1991-2013)
Vedlejší oborJI - Kompositní materiály
Zahájení řešení1993
Ukončení řešení1994
Poslední stav řešeníU - Ukončený projekt, tj. jednoletý nebo víceletý projekt, který skončil v předcházejícím roce, v příslušném roce sběru dat jsou dodány údaje vztahující se k jeho ukončení
Finance projektu
Období1994celkem
Výše podpory ze státního rozpočtu0 tis. Kč0 tis. Kč
Celkové uznané náklady0 tis. Kč0 tis. Kč
Typskutečně čerpané
Cíle řešení v původním jazyceVrstvy s proměnným indexem lomu jsou v poslední době předmětem intenzívního výzkumu, a to jak z hlediska problémů spojených s jejich definovanou přípravou, tak i z hlediska jejich mnohostranného použití v optických soustavách, které jde za rámec možnostístandardní technologie používající vrstev homogenních. Cílem projektu je vypracování technologie přípravy těchto vrstev a dále jejich charakterizace pomocí dostupných optických (spektrálně a úhlově závislá elipsometrie, měření reflektivity a transmise atd.) i dalších diagnostických postupů (RBS, AES, XPS). Za výchozí technologii považujeme rf magnetronové naprašování umožňující depozice několika různých materiálů bez porušení vakua. Výhodná je rovněž možnost kombinace různých plynů v pracovní komoře. Charakterizace nehomogenních vrstev je dosud otevřeným problémem, v literatuře dosud byly popsány pouze některé speciální případy.
Rok dodání údajů do CEP1995
Systémové označení dodávky datCEP/1995/AV0/AV05IA/V/1:1
Účastníci projektu
Počet příjemců1
Počet dalších účastníků projektu1
PříjemceFyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
ŘešitelRNDr. Jiří Hrdina, CSc. (státní příslušnost: CZ - Česká republika; tel.: (02)862000)
Další účastník projektuÚstav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
ŘešitelIng. Jaroslav Sobota, CSc. (státní příslušnost: CZ - Česká republika)
Poznámka: Finance účastníků projektu jsou sledovány od roku 2007
Výsledky projektu v RIV
Počet výsledků v RIV1
Výsledek druhu DRIV/68081731:_____/94:12950010 - Properties of rf magnetron sputtered C and C:N thin films. (1994)